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干式螺杆真空泵的性能结构与应用

目前各种真空泵的发展愈来愈受到真空应用场合的影响,一般传统的真空泵系统已无法满足清洁无油、耐腐蚀、耐可凝性蒸汽以及能在恶劣的工况下运行的需要,因此近几年来干式真空泵发展很快,真空获得产品出现了更新换代的局面。螺杆真空泵是20世纪90年代初出现的一种理想的泵种,由于它具有抽速范围宽、结构简单紧凑、泵腔内无摩擦元件、能耗低、无废液排放以及运行成本低等一系列优点,因而已在微电子、半导体、光伏产业、化工制药、空间模拟等领域得到广泛应用。

一、干式螺杆真空泵的工作原理及其特点

螺杆真空泵的工作原理很简单,二个平行的精密加工的螺杆,旋转方向相反,螺杆型线是由阿基米德螺旋线、圆外次摆线和圆弧曲线构成。从电机端看,主动轴做顺时针旋转时,一对同步斜齿轮确定螺杆作相对旋转,于是螺杆就将吸入的气体从进气口压缩到排气口。在螺杆与螺杆之间、螺杆与泵腔之间均有一定的间隙,以避免任何金属与金属之间的接触。

早期的螺杆是等螺距的,为了降低能耗、降低泵腔内的温度,最近又新开发了变螺距的螺杆泵。其中一种螺杆是由二段螺距大小不等的螺杆拼作而成,另外一种就是螺距连续变化的螺杆泵,螺杆是由一个整体材料加工制作而成,各种不同的螺杆见图1所示。

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